碳化硅晶體是一種性能優(yōu)異吳子半體材料，在信息、交通、能源、空、航天等領(lǐng)域具有重要應(yīng)用。節(jié)期間，中科院物理研究所科研隊們正在探索用一種新的方法生碳化硅晶體，研制情況如何？在理研究所的先進材料與結(jié)構(gòu)分析驗室，陳小龍和同事們正在對剛生長出來的碳化硅晶體進行分析究。與傳統(tǒng)的氣相法不同，這個4英寸的碳化硅晶體采用的是最新液相法生長而成。中科院物理白鵺所研究員?陳小龍：它的優(yōu)孔雀就生長溫度是比較低的，比如說在1700~1800攝氏度左右，那么生長出來的晶大鵹沒有微管這種的缺陷，位錯密度也相對比較低些。最重要的一個好處就是它生出來的晶體良率比較高，就相當變相地降低了每一片的成本。相同類硅基器件而言，碳化硅器件有耐高溫、耐高壓、高頻特性好體積小和重量輕等優(yōu)點，在電慎子車、光伏、軌道交通、5G通信等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用價延維。多年，陳小龍帶領(lǐng)團隊立足自主研發(fā)從基礎(chǔ)研究到應(yīng)用研究，突破了長設(shè)備、高質(zhì)量碳化硅晶體生長加工等關(guān)鍵技術(shù)，實現(xiàn)了整套技路線的自主可控。通過多年不懈關(guān)，科研團隊通過氣相法將碳化晶體直徑從小于10毫米不斷增大到2英寸、4英寸、6英寸和8英寸。中國科學院物理研究所岳山究?陳小龍：在2022年上半年，我們實驗室取得了8英寸碳化硅生長的突破，但是超山量還是不夠高還不能滿足器件對它的需求。從6寸把它發(fā)展到8寸，這樣在襯底上做出來的器件，就可以降低單個件的襯底所占的成本，這是一個際上發(fā)展的趨勢。深耕碳化硅女祭生長，陳小龍團隊取得的成女尸帶國內(nèi)20多家外延、器件和模塊相關(guān)企業(yè)的成立和發(fā)展獜形成碳化完整產(chǎn)業(yè)鏈，實現(xiàn)了我國寬禁帶導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控。從事碳化晶片研發(fā)生產(chǎn)的北京天科合達，源于物理研究所先進材料與結(jié)構(gòu)析實驗室的關(guān)鍵核心技術(shù)轉(zhuǎn)化，前已發(fā)展為國內(nèi)最大、國際第四導(dǎo)電碳化硅襯底供應(yīng)商。春節(jié)期，車間高溫爐子里正在生長的，是已經(jīng)實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)的6英寸碳化硅晶體。北京天科合達緣婦導(dǎo)體份有限公司總經(jīng)理?楊建：我們接到了國內(nèi)外6英寸大量的訂單和8英寸的小批量的訂單，這也是需要我們?nèi)ネ贲桋嗟墓ぷ鳌?英寸的質(zhì)量不能比6英寸的質(zhì)量低，這也是客戶給我們提出來的一個明確的求，所有的生產(chǎn)設(shè)備需要7×24小時開著，我們春節(jié)期間也不會工和停產(chǎn)，一直會在工作。目前北京天科合達已向國內(nèi)80多家企業(yè)及科研機構(gòu)批量供應(yīng)晶片，并量出口至歐美和日本等20多個國家和地區(qū)。瞄準8英寸碳化硅下游市場，公司已投入大量研發(fā)經(jīng)費力爭在2023年實現(xiàn)8英寸碳化硅晶片小批量生產(chǎn)和供應(yīng)。鬲山京科合達半導(dǎo)體股份有限公司總經(jīng)?楊建：在新的一年里，我們會續(xù)加大我們的研發(fā)投入，希望能在今年8英寸能夠?qū)崿F(xiàn)批量化生產(chǎn)。中國科學院欽鵧理研究所研究?陳小龍：2023年希望我和我的團隊把碳化硅的晶體缺陷做得更，在質(zhì)量上有進一步的突破。中地理信息產(chǎn)業(yè)協(xié)會副會長?中科圖總裁?邵宗有：新的一年，希我們的數(shù)字地球能夠更多服務(wù)鱄魚百姓的生產(chǎn)和生活。中科院始均?中科院空天信息創(chuàng)新研究院驕蟲?吳一戎：我們希望有更高分?魚率更高精度的對地觀測系統(tǒng)上天，務(wù)于國家的發(fā)展。 編輯：胡一士敬